瑞士VAT  10.8 UHV超高真空閘閥

公司介紹：

VAT（Vakuumventile AG）是瑞士真空閥門廠商，總部位于瑞士 Haag。作為全球超高真空閥企業，產品主打低漏率、低顆粒污染，廣泛用于半導體刻蝕、鍍膜及科研真空裝置，是真空工藝核心部件供應商。

產品介紹：

一VAT 10.8 UHV超高真空閘閥

產品特點：

1.VATLOCK 技術：關閉位置機械鎖定，確保可靠密封，同時避免密封板摩擦，延長壽命。

2.無潤滑劑設計：杜絕顆粒污染風險，適合潔凈真空環境。

3.高烘烤能力：堅固結構支持 250 °C 烘烤，滿足 UHV 系統除氣需求。

4.波紋管密封：軸封采用金屬波紋管，確保長期免維護運行。

典型應用：

同步輻射、粒子加速器、科研超高真空腔體、半導體 UHV 工藝設備、表面分析儀器、薄膜沉積超高真空系統。

VAT 10836-CE01 技術參數：

產品系列：Series 10.8 UHV Gate Valve（超高真空閘閥）

公稱通徑：DN 63 至 DN 320 (2?" – 12")

壓力范圍：1 × 10?1? mbar 至 1.6 bar (abs)

閥體材質：不銹鋼 (AISI 304 / 316L)

密封技術：VATLOCK 技術（無摩擦機械鎖定）

驅動方式：手動（曲柄手柄）、氣動（雙作用/三位置）

法蘭接口：ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS（可選客戶定制）

漏率：閥體 < 5 × 10?1? mbar·l/s；閥座 < 1 × 10?? mbar·l/s

耐溫上限：250 °C（手動驅動/閥體開啟狀態）

使用壽命：50,000 次循環

型號列表：

VAT 10836-CE01

VAT 10836-CE08

VAT 10836-CE14

VAT 10836-CE24

VAT 10836-CE34

VAT 10836-CE44

VAT 10836-CE48

VAT 10840-CE01

VAT 10840-CE08

VAT 10840-CE14

VAT 10840-CE24

VAT 10840-CE34

VAT 10840-CE44

VAT 10844-CE01

VAT 10844-CE08

VAT 10844-CE14

VAT 10844-CE24

VAT 10844-CE34

VAT 10844-CE44

VAT 10846-CE01

瑞士VAT  10.8 UHV超高真空閘閥